超纯氩气在半导体行业中的8大应用

超高纯氩气是一种无色、无味的惰性气体,其密度是空气的1.4倍,是氦气的10倍。

高纯氩气一般指纯度在99.999%以上的氩气,而超高纯氩气则是指纯度在99.9999%以上的氩气,其中杂质含量非常低,通常不超过0.0001%。 

超高纯氩气在半导体制造中的应用极为广泛和关键。

1、它主要用于硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻和离子注入等核心工艺环节。例如,超高纯氩气可以用于紫外光刻激光器内的沉积和蚀刻过程,以在半导体芯片上制作最小的图案。

2、超高纯氩气还可以用于半导体制造过程中的清洗和稀释,以及有限元素浸润(FEI)的技术中。

3、在硅晶片制造期间,超高纯氩气扮演着重要的角色,它用于保护在晶片上形成的硅晶体在高温生长过程中不会与氧和氮发生任何潜在的反应。这是因为即使是微小的杂质也会对半导体的性能产生重大影响,因此需要使用超高纯氩气来确保生产过程的纯净性。

4、高纯氩气在半导体工业中被用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体,以及用于系统清洗、屏蔽和增压的惰性气体。

5、它也在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。

6、高纯氩气可以作为色谱载气,也可用作大规模集成电路中混合气体的稀释气。 

7、在半导体制造中,超高纯氩气被用作制造高品质晶体管和集成电路的保护气体,以保证芯片的质量和性能。

8、在光学仪器中,超高纯氩气被用作激光器的冷却和保护气体,以保证激光器的稳定性和寿命。

此外，超高纯氩气也被应用于医疗设备中,如作为手术室的保护气体,以确保手术室的洁净和安全。

高纯氩气在半导体工业中起着关键的作用,它不仅保证了生产过程的纯净性,也提高了最终产品的性能和质量。