66项电子特种气体国际标准及国家标准

电子特种气体是特种气体的一个重要分支,是集成电路(IC)、显示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纤光缆等电子工业生产中不可或缺的关键性原材料,广泛应用于薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺,其质量对电子元器件的性能有重要影响。

气体的产品种类丰富,电子元器件在其生产过程中对气体产品存在多样化需求。就集成电路制造过程中需要的高纯特种气体和混合气体的种类超过 50 种,且每一种工艺步骤中都会用到特定的气体。此外,在显示面板、LED、太阳能电池片等器件的制造中的不同工艺环节均会用到多种特种气体。

电子特气相关标准基本分为国际标准和国家标准两类,其中国际标准40项,国家标准26项,共计66项标准。详情如下:

国际标准

#	计划号	项目名称
1	20204890-T-469	电子特气一氧化氮
2	20204889-T-469	电子特气六氯乙硅烷
3	20200854-T-469	电子特气三氟化氮
4	20200797-T-469	电子特气三氯化硼
5	20192162-T-469	电子特气氨
6	20192161-T-469	电子特气磷化氢
7	20184308-T-469	电子特气六氟丁二烯
8	20184306-T-469	电子工业用二氯硅烷
9	20184310-T-469	电子工业用四氯化硅
10	20184309-T-469	电子特气氟甲烷
11	20132258-T-469	电子工业用气体六氟乙烷
12	20132259-T-469	电子工业用气体三氟甲烷
13	20132260-T-469	电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法
14	20132255-T-469	半导体制造用气体处理指南
15	20132257-T-469	电子工业用气体硅烷
16	20132256-T-469	电子工业用气体丙烯
17	20120270-T-469	电子工业用气体八氟丙烷
18	20120271-T-469	电子工业用气体锗烷
19	20110736-T-469	电子工业用气体四氟化硅
20	20111284-T-469	电子工业用气体高纯氯
21	20110735-T-469	电子工业用气体六氟化钨
22	20111285-T-469	电子工业用气体氯化氢
23	20101283-T-469	电子工业用气体六氟化硫
24	20091223-T-469	电子工业用气体八氟环丁烷
25	20091224-T-469	电子工业用气体四氟化碳
26	20081120-T-469	电子工业用气体砷化氢
27	20081121-T-469	电子工业用气体硒化氢
28	20081119-T-469	电子工业用气体三氯化硼
29	20070017-T-469	电子工业用气体 5N氯化氢
30	20062982-T-469	电子工业用气体磷化氢
31	20062406-T-469	电子工业用气体氦
32	20062405-T-469	电子工业用气体氢
33	20062408-T-469	电子工业用气体氩
34	20062751-T-469	电子工业用气体三氟化硼
35	20062752-T-469	电子工业用气体氧
36	20062749-T-469	电子工业用气体氧化亚氮
37	20062750-T-469	电子工业用气体氨
38	20062407-T-469	电子工业用气体氮
39	20064396-T-469	电子工业用气体硅烷(SiH4)
40	20051092-T-469	电子工业用气体三氟化氮

国家标准

#	标准号	项目名称	状态
1	GB/T 16942-2009	电子工业用气体氢	现行
2	GB/T 15909-2017	电子工业用气体硅烷	现行
3	GB/T 33774-2017	电子工业用气体丙烯	现行
4	GB/T 14601-2009	电子工业用气体氨	现行
5	GB/T 16945-2009	电子工业用气体氩	现行
6	GB/T 14604-2009	电子工业用气体氧	现行
7	GB/T 16943-2009	电子工业用气体氦	现行
8	GB/T 31987-2015	电子工业用气体锗烷	现行
9	GB/T 26250-2010	电子工业用气体砷化氢	现行
10	GB/T 16944-2009	电子工业用气体氮	现行
11	GB/T 34085-2017	电子工业用气体三氟甲烷	现行
12	GB/T 34091-2017	电子工业用气体六氟乙烷	现行
13	GB/T 31986-2015	电子工业用气体八氟丙烷	现行
14	GB/T 26249-2010	电子工业用气体硒化氢	现行
15	GB/T 14851-2009	电子工业用气体磷化氢	现行
16	GB/T 32386-2015	电子工业用气体六氟化钨	现行
17	GB/T 18867-2014	电子工业用气体六氟化硫	现行
18	GB/T 14602-2014	电子工业用气体氯化氢	现行
19	GB/T 18994-2014	电子工业用气体高纯氯	现行
20	GB/T 14603-2009	电子工业用气体三氟化硼	现行
21	GB/T 31058-2014	电子工业用气体四氟化硅	现行
22	GB/T 14600-2009	电子工业用气体氧化亚氮	现行
23	GB/T 34972-2017	电子工业用气体中金属含量的测定电感耦	现行
24	GB/T 38866-2020	电子工业用二氯硅烷	现行
25	GB/T 38867-2020	电子工业用四氯化硅	现行
26	GB/T 26251-2010	氟及氟氮混合气	现行

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