电子特气六氟丁二烯介绍

六氟丁二烯是一种具有优异蚀刻性能的电子特气,广泛用于微电子行业,在半导体制造中扮演着重要角色。

六氟丁二烯(C4F6)因其独特的物理和化学性质而被视为一种重要的电子特气。该气体在半导体设备和材料的应用中具备卓越的蚀刻特性,并且对环境相对友好。

由于这些特性,六氟丁二烯在微电子行业中被广泛应用,尤其在制造高精度半导体组件时不可或缺。

其标准化过程也得到了国家层面的高度重视,相关标准已由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)归口管理,并于2022年3月1日正式实施。

六氟丁二烯危险性说明

六氣丁二烯是一种易燃、毒性、无色、无味的低压液化气体。与空气混合后,浓度达到7%时,有燃烧和爆炸危险。

与液态六氟丁二烯接触会导致冻伤

六氟丁二烯操作注意事项

操作人员应经过专门培训,严格遵守操作规程,熟练掌握操作技能,具备应急处置知识。

应远离热源、热表面、火花、明火和其他点火源。工作场所严吸烟。不应使用易产生火花的机械设备和工具。

所有管路系统及相关设备应接地。所有电气设备都应是防爆的。

六氟丁二烯紧急情况应对措施

发生火灾时,切断气源。若不能切断气源,则不应熄灭泄漏处的火焰。消防人员应穿全身防火防毒服,佩戴空气呼吸器。在上风向灭火。喷水冷却容器,直至灭火结束。尽可能将容器从火场移至空旷处。

灭火剂宜用雾状水、泡沫、干粉。如果误吸入六氟丁二烯,迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给氧，呼吸停止,立即进行人工呼吸,就医。

 如果发生冻伤,将患部浸泡于保持在38℃~42℃的温水中复温。不应涂擦。不应使用热水或辐射热。使用清洁、干燥的敷料包扎。如有不适感,就医。