高纯度六氟化硫助力芯片制造

在半导体芯片制造中，电子气体的纯度和稳定性直接决定了晶圆良率和器件性能。湖北茂图润达凭借5N级(99.999%)超高纯度六氟化硫和全链条技术优势，成为中芯国际等龙头企业的核心供应商，引领国内电子气体技术突破。
产品核心优势：纯度和稳定性的双重保证

超高纯度工艺
采用国际领先的纯化技术，六氟化硫纯度覆盖关键杂质(水分)4N(99.99%)至5N(99.99%)≤0.1ppm、酸度≤0.1ppm）满足7nm以下先进工艺对蚀刻气体的严格要求，达到国际先进水平。
全过程质量控制系统
执行ISO 从原材料进口(附原厂检验报告)到生产灌装，9001质量管理系统通过高精度色谱仪对气体成分进行监测，确保批次一致性。
半导体应用场景：精确匹配先进工艺要求
等离子蚀刻
作为一种高效蚀刻剂，5N级六氟化硫可以在硅晶圆上精确雕刻微米级电路图案，避免杂质引起的侧壁粗糙或设备短路。设备清洗和成膜
它的化学稳定性可以清除沉积设备腔内的残留物，同时作为隔离层掺杂剂，可以提高单模光纤的光学性能，保证光刻工艺的稳定性。
安全环保的特点
不燃、不腐蚀的本质安全特性，降低晶圆厂的储存和使用风险，符合半导体洁净室标准。
企业综合实力：技术背书和产业赋能
产学研合作创新
与华中科技大学、武汉大学共建联合实验室，开发低杂质纯化技术，推动国内替代进程。
权威性认证和客户覆盖
通过ISO 环境管理系统认证14001，产品获得中芯国际、国家电网等企业认证，出口全球20多个国家。
定制化服务能力
提供工艺适应气体方案，24小时应急响应机制保证生产线不间断运行，配套技术培训优化客户用气效率。
第四，未来布局:绿色制造和智能升级
为响应“双碳”目标，湖北茂图润达投资3亿元建设智能化工厂，推动六氟化硫回收循环技术，降低半导体产业碳足迹；同时拓展海外市场，加快国内高纯度气体全球化布局。
以“高纯度、安全性、高效率”为核心的湖北茂图润达，通过技术迭代和服务升级，不断为半导体行业提供可靠的气体解决方案，成为中国电子气体自主化进程的关键推动者。未来，其创新驱动战略将进一步巩固高端制造供应链中不可替代性。